观察：再创新高！半导体设备ETF国泰（159516）大涨超5%，连续3日获资金净流入

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6月17日A股市场走势分化，上证指数飘绿，跌幅0.16%，创业板指飘红，涨幅0.46%。半导体设备板块表现亮眼，跟踪中证半导体材料设备主题指数的半导体设备ETF国泰（159516）盘中大涨超5%，成交额18.90亿元，目前已连涨2天。

资金流向方面，该ETF已连续3个交易日实现资金净流入，其中2026年6月12日净流入6.34亿元，6月15日净流入5.39亿元，6月16日净流入4.78亿元，近5日合计资金净流入11.29亿元。份额数据显示，其总份额自6月11日的162.33亿份增长至174.37亿份，增幅达7.4169%，最新规模为242.78亿元。

半导体材料和设备是半导体产业的核心支撑环节，也是国产替代进程的关键领域，行业中长期成长逻辑明确。华西证券指出，受进口管制升级影响，浸没式光刻机、低温蚀刻、薄膜沉积等关键制程设备国产替代逻辑持续受益，半导体设备板块拥挤度处于较低分位，仍具较高配置性价比，可积极布局。

半导体设备ETF国泰（159516）紧密跟踪中证半导体材料设备主题指数，该指数选取40只业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为样本，反映板块整体表现，为投资者布局半导体设备赛道提供了高效的指数化工具。